产品介绍
Regulus8100是日立冷场发射扫描电镜的全新系列,Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点,进一步提高性能,1kV减速模式下最高分辨率达到了0.8nm,15kV达到0.7nm,高低电压均可满足高分辨的观察。
产品特性:
1. 配备加速电压减速功能,优秀的低加速电压成像能力,1kV分辨率可达0.8nm
2. 日立专利E×B技术,无需喷镀,可直接观测不导电样品
3. 配备电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能
4. SE与BSE任意比例搭配功能
样品:AlTiC基板
加速电压:1kV
倍率:2万倍
产品应用:
1、 纳米材料;
2、 半导体器件;
3、 高分子材料;
4、 生物医学;
5、 新能源;
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